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曝光機專用冷水機

產品型號：5P 1P 3HP 2P 6匹（更多型號詢價,請您來電咨詢我們）

應用行業：半導體制造，光電電子，平板，射頻微波，衍射光學，微機電系統，凹凸或覆晶設備和其他要求精細印制和精度對準的冷卻系統

機組類型：箱型風冷式冷水機、箱型水冷式冷水機、開放式冷水機

簡要介紹：【曝光機專用冷水機】是我司專為紫外線曝光機配套設計的一款高性能瀚信德品牌優質工業冷水機組，大多客戶因廠房條件限制一般采用風冷散熱形式最多，由于機型小所需散熱風量比較小可直接放在車間使用，當然如果客戶不希望【曝光機專用冷水機】的散熱風影響車間環境溫度，也可以接足夠大尺寸的風管將曝光機冷水機散熱風以最近的距離排到室外也可。

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產品概述規格參數

【曝光機專用冷水機】是我司專為紫外線曝光機配套設計的一款高性能瀚信德品牌優質工業冷水機組，大多客戶因廠房條件限制一般采用風冷散熱形式最多，由于機型小所需散熱風量比較小可直接放在車間使用，當然如果客戶不希望【曝光機專用冷水機】的散熱風影響車間環境溫度，也可以接足夠大尺寸的風管將曝光機冷水機散熱風以最近的距離排到室外也可。

偶爾有的客戶會指定需要水冷式結構或風冷分體結構（這兩種需要客戶廠房外有地方放冷卻水塔或室外機組才可），機型一般也不大，使用1P、2HP、3匹、5P【曝光機專用冷水機】居多。

按冷卻方式分類

紫外線曝光機內部冷卻系統一般用直冷式和間冷式兩種
直冷式一般因要配置棉芯過濾器需要配置高揚程高壓力的水泵和過水部件均需要使用304不銹鋼材質以確保水質和循環水流量能達到要求；
間冷式因曝光機內部已經配置用板式交換器循環水泵與保溫水箱，對曝光機專用冷水機的要求就比較低些。

能瀚信德品牌優質曝光機專用冷水機在半導體制造，光電電子，平板，射頻微波，衍射光學，微機電系統，凹凸或覆晶設備和其他要求精細印制和精度對準的冷卻系統中用著廣泛應用。

紫外線曝光機是指通過開啟燈光發出UVA波長的紫外線，將膠片或其他透明體上的圖像信息轉移到涂有感光物質的表面上的設備。
UV燈構造
帶托盤的晶片工作臺
配CCD鏡頭的顯微鏡
監視器
掩膜夾具
UV燈透鏡
UV燈鏡片
UV燈電源系統
操作控制器
350W UV燈
晶片臺
基底尺寸標準尺寸最大至4英寸；可選最大至6英寸；
托盤標準尺寸最大至4英寸；可選最大至6英寸；
活動范圍：X：10mm Y： 10mm Z ： 10mm Theta： 4 degree
擠入補償 Air bearing型
Z軸滑動手動
真空泵無油真空泵
掩膜臺
掩膜夾具類型真空吸附和機械夾取
均勻光束大小 4.25“ X 4.25“
支持接近式曝光，各種接觸式（真空接觸、軟接觸、硬接觸等）曝光
接觸式曝光特征尺寸：
0.35 um@深紫外DUV：
0.5um@近紫外NUV；
0.6um@紫外UV；
接近式曝光特征尺寸：
1um @ Gap為20 um；
2um @ Gap為50 um；

紫外線曝光機用途
更廣范圍（UV，DUV，NUV）的紫外光波長選擇，出射光強范圍: 8mW/cm2~40mW/cm2
支持恒定光強或恒定功率模式
廣泛應用于半導體、微電子、生物器件和納米科技領。
常見曝光機舉例：MYCRO美國制造的恩科優（N&Q）紫外曝光系統，適用于從特殊大小的基片到4尺寸很寬廣范圍材料的紫外或深紫外光曝光。NXQ400-6系統成功地應用于半導體制造，光電電子，平板，射頻微波，衍射光學，微機電系統，凹凸或覆晶設備和其他要求精細印制和精度對準的應用。

一、概述

在工業應用行業中，一般10P以上工業冷水機組大部分采用水冷式散熱，10P以下工業冰水機組采用風冷式散熱，但也有很多客戶會選風冷式冰水機組，因為它安裝方便，省工省時。

二、瀚信德品牌高品質風冷式曝光機專用冷水機組又名

風冷曝光機專用冷水機主機，曝光機專用風冷工業冰水機，曝光冷水機，曝光機專用箱型風冷制冷機組，曝光機專用循環水冰水機，曝光專用冷水箱，曝光機專用水冷卻機，曝光機專用冷凍水機等等。

三、瀚信德品牌高品質風冷式曝光機專用冷水機組的電器自控部分

A、包括風冷式冷水機組運行控制部分和故障自動保護控制部分。
B、運行控制部分是通過接觸器，對壓縮機、風扇、水泵等供應電源。
C、故障自動保護控制部分包括溫控器、壓力保護、防凍保護，延時器、繼電器、缺水自動保護，過流保護過載保護等。
D、互組合達到根椐水溫自動啟停，保護等功能。

四、風冷式工業曝光專用冷水機組的結構組成與特點

1、風冷式曝光機冷水機組一般為整體機，及蒸發器、壓縮機和冷凝器做在一起。

A、對于稍大功率的風冷式工業冷水機，則需要考慮其工作時冷凝器散熱風扇的散熱問題。
B、在空調廠房里應用，整體機需要設置排風道將散熱風扇吹出的熱量引到室外。

2、風冷式工業曝光專用冷水機也可以做成分體式，將冷凝器直接放到室外去（稱室外機），蒸發器和壓縮機放在室內（稱室內機）。

A、但考慮冷媒在冷凝器和蒸發器間傳送過程中的吸熱等問題，室內機和室外機間的距離最好控制在6米以內，另外，輸送冷媒的銅管需要做保溫處理。
B、風扇的供電電纜及控制電纜可以和銅管一起布線走，這樣空調廠房只需開洞穿管即可。

3、對于應用小流量及小散熱量風冷式冷水機的工業應用場合，一般選用整體式直接使用，此時可不用考慮其散熱問題。

A、對于大流量和大散熱量的風冷式冷水機，可選用分體式。

4、風冷式冷水機其冷凝器冷卻效果受外界環境季節氣候的變化略有影響，而水冷式冷水機，采用水塔散熱效果較穩定，但其一定需配套水塔散熱才可使用，可移動性差。

五、風冷式曝光專用冷水機的工作原理！詳情請點擊查看參考風冷式冷水機工作原理

六、瀚信德高品質曝光專用冷水機配置簡介

箱式風冷曝光專用冷水機組一般采用全新原裝正品日本松下三洋制冷壓縮機、可選品牌用美國谷輪，丹麥丹佛斯，美優樂，日本大金，渦漩式壓縮機，風冷螺桿式機組采用漢鐘，復盛，比澤爾，等品牌。
高效翅片冷凝器，盤管式，殼管式，板式蒸發器采用自主研發的品牌。
高精度控制系統，多功能保護系統采用臺灣邦普微電腦控制器。

七、瀚信德高品質曝光專用冷水機組特點